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OceanOptics光纖光譜儀>> 應(yīng)用系統(tǒng)>>SpecEl橢偏儀  

SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。

 

集成的精確測量系統(tǒng)

SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達(dá)0.005%。

SpecEl可通過電話問價(jià)。

 

SpecEl軟件及Recipe配置文件

通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析,所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。

SpecEI軟件截圖顯示的PsiDelta值可以用來計(jì)算厚度,折射率及吸光率。

配置說明

波長范圍:

380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 450-900 nm (可選)

光學(xué)分辨率:

4.0 nm FWHM

測量精度:

厚度0.1 nm ; 折射率 0.005%

入射角:

70°

膜厚:

單透明膜1-5000 nm

光點(diǎn)尺寸:

2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 200 µm x 400 µm (可選)

采樣時間:

3-15s (最小)

動態(tài)記錄:

3 seconds

機(jī)械公差 (height):

+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0°

膜層數(shù):

至多32

參考:

不用

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